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產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚嵌入式膜厚檢測儀
產(chǎn)品簡介
● 采用分光干涉法● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專zhuan利 第4834847號）● 使用光學光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)● 可嵌入至各種制造設備。● 實時測量膜厚● 可對應遠程操作、多點測量● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
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